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LSAT衬底

优点:

1.超导薄膜

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  • (La,Sr)(Al,Ta)O3是一种较为成熟的无鸾晶钙钛矿晶体,在与高温超导体及多种氧化物材料有较完好的匹配。在大量实际研究使用过程中,有望取代铝酸镧(LaAlO3)和钛酸锶(SrTiO3)用于巨磁铁电及超导器件。

    性能指标:

    生长方法

    提拉法

    晶体结构

    立方

    晶格常数

    a=3.868 A

    熔点(

    1840

    密度g/cm3

    6.74

    硬度(Mho)

    6.5

    介电常数

    22

    热膨胀系数

    10 x 10-6 /K

    颜色及外观

    根据退火情况由无色到浅棕色,无鸾晶和可见畴

    晶向

    <100><110><111>±0.5º

    晶面定向精度

    ±0.5°

    边缘定向精度

    (特殊要求可达以内)

    斜切晶片

    可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角45°)的晶片

    粗糙度

    ≤5Å5µm×5µm


  • LaAlO3衬底

    MgO衬底

    BaTiO3衬底

    SrTiO3衬底

    KTaO3衬底

    CdTe衬底

    BGO单晶

    MgAl2O4 衬底

    Ge衬底

    LiAlO2 衬底

    CZT 衬底

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