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LiTaO3 衬底

优点:

1.良好的电光、压电和热释电性能

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  • 铌酸锂、钽酸锂是两种典型的多功能晶体材料,广泛应用于声表面波滤波器、叉指换能器、电光开关、热释电探测器等方面。


    性能指标: 

    参数
    圆片(圆棒)
    直径(mm)
    Dia3"±0.3mm
    Dia4"±0.3mm
    Dia5"±0.3mm
    长度(mm)
    ≥80
    ≥60
    ≥50
    轴向
    X、Y、Z、36°Y、42°Y
    晶片厚度(mm)
    0.35-1
    基准边方向
    X、Y、112.2°Y
    基准边宽度(mm)
    22.0±2.0
    32.0±2.0
     
    正面抛光
    Ra≤8A
    背面研磨(μm)
    0.2-4
    平整度TTV(μm)
    ≤10
    PLTV(5×5mm;LTV<1μm)
    ≥97%
    ≥95%
    ≥90%
    弯曲度(μm)
    ≤20
    ≤35
    ≤50
    倒角
    倒角
    极化
    完全
    居里温度(℃)
    605.0±3.0



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