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蓝宝石衬底

优点:

1.优秀的透光性、热传导性、电气绝缘性及力学机械性

2.耐磨及抗风蚀

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  • 蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶是一种优秀的多功能材料。蓝宝石为六方晶格结构,化学性质和物理性质稳定硬度高达莫氏9级,仅次于金刚石,具有很好的透光性、热传导性、电气绝缘性,力学机械性并且具有耐磨和抗风蚀的特点。广泛用于工业、国防和科研的多个领域(如耐高温红外窗口等)。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料,是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的首选基片(需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜),也是重要的超导薄膜基片。除了可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。

    性能指标:

    晶系

    六方晶系

    晶胞常数

    a=4.748Å c=12.97Å

    密度(g/cm3

    3.98

    熔点(°C)

    2040

    莫氏硬度(Mho)

    9

    热膨胀系数

    7.5  (x10-6/ °C)

    热导率(卡/度 厘米 秒)

     

    c

    //c

    23

    0.055

    26 0.060

    77

    0.040

    70 0.041

    介电常数

    ~ 9.4 @300K  at A axis ~ 11.58@ 300K at C axis

    晶向

    A-plane

    <11-20>

    2.379A

    R-plane

    <1-102>

    1.740A

    M-plane

    <10-10>

    1.375A

    C-plane

    <0001>

    2.165A

     


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